| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| 处理室尺寸 | 宽：270 毫米，深：370 毫米，高：400 毫米 |
| 热蒸发器 | 多达 4 种材料 |
| 有机蒸发器 | 多达 4 种材料 |
| 电子束蒸发 | 多槽或单槽 |
| 溅射 | 向上或向下，2 x 2" |
| 共沉积 | 蒸发和/或溅射 |
| 与真空进样室兼容 | 可选 |
| 水调温室 | 可选 |
| 真空度 | 中真空 10-7 mbar |
| 与洁净室兼容 | 是 |
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| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| 处理室尺寸 | 宽：270 毫米，深：370 毫米，高：400 毫米 |
| 热蒸发器 | 多达 4 种材料 |
| 有机蒸发器 | 多达 4 种材料 |
| 电子束蒸发 | 多槽或单槽 |
| 溅射 | 向上或向下，2 x 2" |
| 共沉积 | 蒸发和/或溅射 |
| 与真空进样室兼容 | 可选 |
| 水调温室 | 可选 |
| 真空度 | 中真空 10-7 mbar |
| 与洁净室兼容 | 是 |
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